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[发明专利]一种薄膜厚度检测方法-CN201811103276.7有效
发明人：王顺 -专利权人：青岛华泰瑞特机电科技有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明属于薄膜测量技术领域，具体的说是一种薄膜厚度检测方法，该方法包括以下步骤：S1，将待检测的薄膜固定在薄膜厚度检测仪上；S2，启动S1中的薄膜厚度检测仪对薄膜的厚度进行检测；S3，S2中检测完成后，对检测后的薄膜进行加热，并利用温度传感器对薄膜的温度进行检测，当薄膜的整体周围环境温度达到预设值时，再次对薄膜的厚度进行检测；S4，改变薄膜的温度，测量多组薄膜在不同温度下的厚度。本方法通过采用薄膜厚度检测仪实现对薄膜厚度的测量，且通过改变薄膜周围整体的温度，实现在不同温度下对薄膜厚度的测量，从而便于研究薄膜受温度的影响规律。
一种薄膜厚度检测方法

[实用新型]一种薄膜用的厚度检测装置-CN202122221970.2有效
发明人：张全锋 -专利权人：昆山小强电子科技有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄膜厚度检测技术领域，具体为一种薄膜用的厚度检测装置，包括薄膜厚度检测装置本体、伺服电机和检测器，所述薄膜厚度检测装置本体的底端固定安装有底座，所述薄膜厚度检测装置本体的顶端固定安装有检测台，所述薄膜厚度检测装置本体的内部装设有螺纹杆。本实用新型通过设置有伺服电机，通过将需要检测的薄膜放置在检测台的顶端，通过伺服电机的转动能够使触碰块进行下降，使得触碰块能够与薄膜相接触，从而能够将薄膜的厚度进行测量，通过将薄膜进行夹持固定，再通过转动转动盘，使得第一内螺纹滑块与第二内螺纹滑块同时往薄膜厚度检测装置本体的两侧方向进行移动。
一种薄膜厚度检测装置

[实用新型]一种压延膜厚度控制装置-CN202121322871.7有效
发明人：李国华;潘栩锋;冯伟球;冒涛;陈文铭 -专利权人：佛山市枫莱尔自动化技术有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B29C55/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压延膜厚度控制装置，包括沿薄膜前进方向依次设置的厚度检测机构以及厚度调整机构；所述厚度检测机构包括多个厚度检测器，多个所述厚度检测器沿所述薄膜的宽度方向均匀设置，所述厚度调整机构包括沿所述薄膜宽度方向均匀分布的多个调整组，多个所述调整组分别对应一个所述厚度检测器，所述调整组包括电动球阀、通气管以及气枪，所述电动球阀与所述通气管连接，所述通气管与所述气枪连接。通过多个厚度检测器分别测量薄膜在宽度方向上的各个区域的厚度，当检测到某个区域内薄膜的厚度达到设定值后，气枪喷出气流对薄膜上的该区域进行冷却成型，避免其继续拉伸变得更薄，对薄膜的厚度进行控制，结构简单，生产的薄膜厚度均匀
一种压延厚度控制装置

[发明专利]一种薄膜厚度检测机构-CN201410328077.1在审
发明人：王振东;何万能 -专利权人：苏州诺耀光电科技有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜厚度检测机构，包括：薄膜厚度探头（1），其设置在薄膜（2）上，用于感应检测所述薄膜（2）的厚度；水冷保护罩（3），其覆盖在所述薄膜厚度探头（1）上，用于降低局部温度；支撑机构（4），其设置在所述薄膜（2）的下方，用于撑托薄膜（2），所述支撑机构（4）的下方设置溅射阴极（5）。本发明所述薄膜厚度检测机构能够在真空状态下，对连续生产的真空溅镀的薄膜的厚度进行在线测量。
一种薄膜厚度检测机构

[发明专利]用于薄膜厚度检测装置-CN201410563435.7在审
发明人：赵伯全;刘籍文 -专利权人：昌进特（天津）电子有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明提供用于薄膜厚度检测装置，用于检测贴附于手机壳的待测薄膜，所述薄膜检测步骤分为：准备工作；读取待测物件镀膜的厚度值；将待测物件镀膜的实际厚度与计划厚度值比较；记录偏差值的厚度值；根据偏差的厚度值，本发明的有益之处在于：装置简单易操作，将装置置于待测手机外壳薄膜上，更精准地检测待测薄膜，并可应用于自动化检测待测薄膜，减少检测的人力耗费，提高检测效率。
用于薄膜厚度检测装置

[发明专利]一种金属纳米薄膜厚度的检测方法-CN201210088205.0无效
发明人：李壮;温志伟;张悦;许富刚;孙玉静;石岩;戴海潮 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种金属纳米薄膜厚度的检测方法，包括以下步骤：检测得到待测金属纳米薄膜的电阻值；根据所述电阻值和预先制定的金属纳米薄膜厚度与金属纳米薄膜电阻值之间的标准曲线，计算得到所述金属纳米薄膜的厚度；所述标准曲线为金属纳米薄膜的电阻值的对数与所述金属纳米薄膜厚度的倒数之间的标准曲线本发明计算得到金属纳米薄膜电阻值的对数与其厚度的倒数之间存在良好的线性关系，从而得到金属纳米薄膜厚度与所述电阻值的标准曲线，根据所述标准曲线和金属纳米薄膜的电阻值，得到金属纳米薄膜的厚度。本发明提供的方法对金属纳米薄膜厚度的检测无需复杂的操作过程，简单方便，而且检测速度快，成本低。
一种金属纳米薄膜厚度检测方法

[发明专利]薄膜厚度的控制方法以及半导体加工设备-CN201410145928.9在审
发明人：边国栋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供的薄膜厚度的控制方法以及半导体加工设备，其包括以下步骤：S1，将完成薄膜沉积工艺的被加工工件在其后续的传输路径上暂停，并检测该被加工工件的薄膜厚度；S2，计算检测到的薄膜厚度与预设的目标厚度的差值，并根据该差值调整对下一个被加工工件进行薄膜沉积工艺的工艺配方，以使下一个被加工工件的薄膜厚度达到预设的目标厚度。本发明提供的薄膜厚度的控制方法，其可以在线检测薄膜厚度，从而不仅可以在薄膜厚度未达到工艺要求时及时地调整工艺配方，以使各个被加工工件的薄膜厚度均能够满足工艺要求，而且还可以降低人力和使用成本、提高设备的使用效率
薄膜厚度控制方法以及半导体加工设备

[发明专利]透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备-CN201710638899.3有效
发明人：蒋仕龙;陈方涵 -专利权人：深港产学研基地;深圳市港科才盛科技有限公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明适用于薄膜技术领域，提供了一种透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机。本发明实施例通过提供一种由光源、扩散板和相机构成的薄膜厚度检测装置，用于进行透光薄膜厚度测量，可以有效简化装置结构、提高检测速度、满足较宽的测量范围要求并有效降低成本；通过调节相机的拍摄参数可以有效降低由于相机硬件结构造成的检测误差，通过采用光密度计量法结合预设修正函数来计算薄膜的厚度值，可以有效提高检测结果的准确性。
透光薄膜厚度测量方法系统终端设备

[发明专利]一种电容器薄膜厚度误差检测方法-CN201711483131.X在审
发明人：陈忠友;卫中科;杜运朝;方霞;张锐 -专利权人：宁国市裕华电器有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容器薄膜厚度误差检测方法，包括将待检测金属化薄膜平铺在检测平台；对待检测金属化薄膜进行吹风；在预设的激光发射位置对待检测金属化薄膜发射激光；在预设的激光采集位置检测是否采集到被待检测金属化薄膜反射后的激光，当检测结果为否时，发出进行警示信息。如此，通过光的反射检测金属化薄膜是否存在厚度误差，当在检测到激光采集位置检测到在对应的激光发射位置发射的激光时，说明金属化薄膜厚度质量较好，当在检测到激光采集位置未检测到在对应的激光发射位置发射的激光时，说明金属化薄膜厚度异常，此时发出警示信息，具有有益的技术效果和显著的实用价值。
一种电容器薄膜厚度误差检测方法

[实用新型]有机硅薄膜自动检测装置-CN202222261402.X有效
发明人：王彤宇 -专利权人：杭州圭臬新材料科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了有机硅薄膜自动检测装置，涉及硅薄膜检测设备技术领域，包括检测台，所述检测台的顶部固定安装有固定座，且检测台上安装有位于固定座前方的平台。该有机硅薄膜自动检测装置，通过从动辊和主动辊以及限位辊和平台的配合使用，使得该有机硅薄膜自动检测装置在进行厚度检测的过程中，待检测的有机硅薄膜平铺在平台上，两端位于从动辊和主动辊之间，伺服电机启动后带动主动辊拉伸薄膜的两端，从而使得薄膜在平台上贴合平整，并使得限位辊对薄膜位于平台边缘处的位置进行支撑保护，既避免了薄膜在进行厚度检测的过程中受损，还能够保证薄膜的表面平整，易于厚度检测设备进行厚度检测工作。
有机硅薄膜自动检测装置

[发明专利]一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法-CN202210448963.2在审
发明人：董茂进;王小军;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，涉及薄膜材料检测领域。所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长以及弧顶到弦中心的距离，推导出圆弧的曲率半径；计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度。柔性透明硅氧烷薄膜厚度难以进行测量，基于薄膜存在应力的特点，根据薄膜曲率推导计算薄膜厚度，该方法过程简单，测试仪器要求不高，检测结果准确，适合生产企业对产品进行检验测试使用。
一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度方法

[发明专利]一种化学机械抛光中光谱终点的检测方法、装置及系统-CN201710839581.1在审
发明人：王东辉;井海石;柳滨;张为强;王嘉琪 -专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请日： 2017-09-18 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： B24B37/013 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光中光谱终点的检测方法、装置及系统，包括根据晶圆表面被抛薄膜的光谱检测数据，确定被抛薄膜的平滑的光谱检测数据；根据平滑的光谱检测数据中关联的反射率数据与检测波长数据，确定平滑的光谱检测数据中的极值点及每个极值点对应的波长值；根据至少两个相邻极值点的波长值以及被抛薄膜的光学折射率，确定被抛薄膜的剩余厚度；在检测到被抛薄膜的厚度达到设定厚度阈值时，确定该被抛薄膜的厚度为抛光终点，以使化学机械抛光设备在抛光终点停止抛光；其通过计算晶圆表面被抛薄膜的剩余厚度，确定该被抛薄膜的厚度为抛光终点，提高了光谱终点的检测精确度，且提高了化学机械抛光设备的工作效率。
一种化学机械抛光光谱终点检测方法装置系统

[发明专利]薄膜厚度确定方法、装置和计算机设备-CN202211621211.8在审
发明人：岑海霞;薛英武 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种薄膜厚度确定方法、装置、计算机设备和存储介质。所述薄膜厚度确定方法包括：获取待检测芯片的薄膜材料信息；根据薄膜材料信息、实时温度信息和预先设置的电阻率数据库，确定待检测芯片对应的电阻率信息；电阻率数据库记载薄膜材料、温度值和电阻率值之间的关系；根据电阻率信息，确定待检测芯片的薄膜厚度，通过该种设置，能够省去繁琐的人工计算工作，并同时加快了薄膜厚度的计算速度、提升了薄膜厚度的计算准确性。
薄膜厚度确定方法装置计算机设备

[发明专利]一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法-CN202011296380.X有效
发明人：崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦 -专利权人：华侨大学
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，先依据椭偏光谱数据及吸收光谱数据判断金刚石薄膜是单晶金刚石薄膜或多晶金刚石薄膜，再依据光谱数据分别选择不同计算方式以获光学常数和薄膜厚度，一方面不仅能获折射率和薄膜厚度，而且还能获消光系数，另一方面，单晶金刚石薄膜采用Cauchy模型计算以获光学常数和薄膜厚度，多晶金刚石薄膜则选择波段并依据振子模型和评价函数MSE计算以获光学常数和薄膜厚度，因此可检测单晶及多晶金刚石薄膜，能获光学常数折射率、消光系数和厚度，检测精度高、测量时间短。
一种金刚石薄膜厚度光学常数检测方法

[发明专利]一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法-CN201610143693.9在审
发明人：刘连庆;施佳林;于鹏;李广勇 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法，包括AFM系统用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动；超声辅助系统用于对纳米薄膜施加超声振动；相位检测系统用于实现基于探针振动相位检测的纳米薄膜与基底的交界面及纳米薄膜厚度检测检测方法锁相放大器检测加工过程中探针的超声振动与超声驱动信号的相位差，再通过AFM成像获得加工深度信息，从而根据相位差与加工深度的空间对应关系得到深度-相位差曲线，根据该曲线出现的拐点可以检测出纳出米薄膜与基底的交界面和薄膜厚度本发明可以检测出材料机械特性的变化，进而能够检测出纳米薄膜与其基底交界面，从而确定薄膜厚度。
一种基于超声 afm 纳米薄膜厚度检测装置及其方法

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